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Klaus Gehm
Klaus Gehm
Analytical chemistry
Chemistry
Auxiliary electrode
Sputter deposition
Cavity magnetron
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Langzeittemperaturbeständiges Reflexionsschichtsystem auf Glassubstraten und Verfahren zu dessen Herstellung
2004
Klaus Gehm
Christoph Dr. Köckert
Matthias List
Falk Dr. Milde
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Vorrichtung zur Sputterbeschichtung mit variierbarem Plasmapotential
1998
Martin Dimer
Johannes Struempfel
Dietmar Schulze
Hans-Christian Dipl.-Phys. Hecht
Klaus Gehm
Paul Dr.rer.nat. Gantenbein
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Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Funktionsschichten auf bewegten Substraten in einem PECVD-Prozeß
1998
Dietmar Schulze
Martin Dimer
Johannes Stuempfel
Hans-Christian Hecht
Klaus Gehm
Stanley Rehn
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An apparatus for sputter coating with plasma potential variierbarem
1998
Martin Dimer
Paul Dr.rer.nat. Gantenbein
Klaus Gehm
Hans-Christian Dipl.-Phys. Hecht
Dietmar Schulze
Johannes Dr. Strümpfel
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