Old Web
English
Sign In
Acemap
>
authorDetail
>
Shigeru Mizuno
Shigeru Mizuno
Ruthenium
Chemistry
Polymer chemistry
Materials science
Metal
3
Papers
4
Citations
0.00
KQI
Citation Trend
Filter By
Interval:
1900~2024
1900
2024
Author
Papers (3)
Sort By
Default
Most Recent
Most Early
Most Citation
No data
Journal
Conference
Others
Procédés de cuivrage en plusieurs étapes d'un film continu de ruthénium disposé sur des éléments en retrait
2010
Frank M. Cerio
Shigeru Mizuno
Jonathan D. Reid
Thomas A. Ponnuswamy
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
Low resistance wiring and 2Xnm void free fill with CVD Ruthenium liner and DirectSeed TM copper
2010
IITC | International Interconnect Technology Conference
Jonathan Rullan
Tadahiro Ishizaka
Frank M. Cerio
Shigeru Mizuno
Yasushi Mizusawa
Thomas Ponnuswamy
Jon Reid
Andrew J. McKerrow
Chih-Chao Yang
Show All
Source
Cite
Save
Citations (4)
Procédé de formation de couches de recouvrement en métal de ruthénium
2009
Shigeru Mizuno
Frank M. Cerio
Tadahiro Ishizaka
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
1