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Michailos Jean

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326MFlit/s0.66pJロバストでフォールトトレラントな非同期3Dリンクを持つ4×4×2均一スケーラブル3次元ネットワークオンチップ回路【Powered by NICT】

2017 IEEE Journal of Solid-state Circuits
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水素還元雰囲気下でTDMAT(テトラキスジメチルアミノチタン)を用いた低温・低抵抗率PEALD(プラズマ原子層蒸着)TiN

2008 Journal of The Electrochemical Society
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水素還元雰囲気下でTDMAT(テトラキスジメチルアミノチタン)を用いた低温・低抵抗率PEALD(プラズマ原子層蒸着)TiN

2008 Journal of The Electrochemical Society
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水素還元雰囲気下でTDMAT(テトラキスジメチルアミノチタン)を用いた低温・低抵抗率PEALD(プラズマ原子層蒸着)TiN | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター

2008 Journal of The Electrochemical Society
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