author-photo

Dieter Schmerek

5

Papers

0

Citations

Citation Trend

Filter By

Papers (4) Sort By

Journal Conference Others

Lighting device for a microlithographic projection exposure apparatus having an optical element made of a uniaxial crystal with several parallel or arranged perpendicular to the crystal axis of refractive or diffractive structures

2007
Show All
- Source
- Cite
- Save
Citations (0)
Procede pour usiner un element optique et element optique correspondant

2006
Show All
- Source
- Cite
- Save
Citations (0)
Optisches System, insbesondere in einer Beleuchtungseinrichtung einer Projektionsbelichtungsanlage

2006
Show All
- Source
- Cite
- Save
Citations (0)
Systeme d'exposition par projection microlithographique, et procede d'introduction d'un fluide d'immersion dans une chambre d'immersion

2004
Show All
- Source
- Cite
- Save
Citations (0)