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Kyoko Dewa
Kyoko Dewa
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パターン検証方法、パターン検証システム、パターン検証プログラム、マスク製造方法、および半導体装置の製造方法
2008
Kyoko Dewa
Satoshi Tanaka
kyouko dewa
satosi tanaka
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パターン検証方法、パターン検証システム、マスクの製造方法、半導体装置の製造方法
2008
Kyoko Dewa
Toshiya Kotani
Shigeki Nojima
Satoshi Tanaka
kyouko dewa
tosiya kotani
satosi tanaka
sigeki nozima
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OPC(光近接効果補正:OpticalProximityCorrection)モデル作成方法、OPCモデル作成プログラム、OPCモデル作成装置、露光装置調整方法、露光装置調整プログラム、露光装置調整装置、半導体装置製造方法、半導体装置製造プログラムおよび半導体装置製造装置
2007
Kyoko Dewa
Kaoru Koike
Kazuhisa Ogawa
kyouko dewa
kazuhisa ogawa
kaoru koike
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設計レイアウト作成方法、設計レイアウト作成システム、マスクの製造方法、半導体装置の製造方法、及び設計レイアウト作成プログラム
2003
Kyoko Dewa
Hirotaka Ichikawa
Soichi Inoue
Suigen Kiyou
Toshiya Kotani
Shigeki Nojima
Ryuji Ogawa
Satoshi Tanaka
souiti inoue
kyouko dewa
sui gen kyou
ryuuzi ogawa
tosiya kotani
hirotaka itikawa
satosi tanaka
sigeki nozima
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エッジ位置ずれ量の算出方法、検証方法、検証プログラム、及び検証システム。
2003
Kyoko Dewa
Toshiya Kotani
Satoshi Tanaka
kyouko dewa
tosiya kotani
satosi tanaka
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