エッジ位置ずれ量の算出方法、検証方法、検証プログラム、及び検証システム。

【課題】計算負荷を大幅に低減させることができる、高速計算可能なエッジ位置ずれ量の算出方法、検証方法、検証プログラム及び検証システムを提供する。 【解決手段】所望パターン１と所望パターンを達成するための設計パターン２を形成し、所望パターン１をウェハ上に形成するための基準光強度５を設定し、所望パターン１の平面形状とウェハ上の仕上がりパターン平面形状との比較を行うための評価点１１を設定し、評価点１１での光強度を算出し、評価点１１での光強度の微分量を算出し、微分量と基準光強度５との交点１４を算出し、交点１４と評価点１１との差分を算出し、この差分を仕上がりパターンの所望パターンに対するエッジ位置ずれ量とする。 【選択図】 図１