Old Web
English
Sign In
Acemap
>
authorDetail
>
Takayuki Satou
Takayuki Satou
Polymer chemistry
Physics
Chemical vapor deposition
Adsorption
Metalorganic vapour phase epitaxy
2
Papers
0
Citations
0
KQI
Citation Trend
Filter By
Interval:
1900~2024
1900
2024
Author
Papers (2)
Sort By
Default
Most Recent
Most Early
Most Citation
No data
Journal
Conference
Others
Quick Removal of Adsorbed Water Molecules on inner Surface of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Equipment
2001
Shinku
Katsumasa Suzuki
Takayuki Satou
Yoshio Ishihara
Hiroki Tokunaga
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
CVD-Einrichtung zum Bilden eines Halbleiterfilms auf einem Wafer und Verfahren zum Beurteilen von Wartungszeiten einer CVD- Einrichtung
2000
Hiroyuki Hasegawa
Yoshio Ishihara
Hiroshi Masusaki
Takayuki Satou
Katsumasa Suzuki
Hiroki Tokunaga
Tomonori Yamaoka
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
1