Old Web
English
Sign In
Acemap
>
authorDetail
>
you sen sugiyama
you sen sugiyama
2
Papers
0
Citations
0
KQI
Citation Trend
Filter By
Interval:
1900~2024
1900
2024
Author
Papers (2)
Sort By
Default
Most Recent
Most Early
Most Citation
No data
Journal
Conference
Others
300mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス(アクティブデバイスと集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)
2013
tomohiro kita
yuuiti akira taaruzi
kyou ki nara
syuu heiya
syuu hirosi toyama
miyosi kan
keizi kosino
nobuyuki yokoyama
mi ootuka
you sen sugiyama
eiiti isizuka
saku sano
tuyosi horikawa
hirohito yamada
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
C-3-57 SOI導波路プロセス(VI) : 液浸ArF露光を用いた導波路パターン形成(II)(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
2012
tuyosi horikawa
miyosi kan
syuu hirosi toyama
keizi kosino
nobuyuki yokoyama
mi ootuka
you sen sugiyama
eiiti isizuka
masasi yamagisi
saku sano
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
1