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saku sano
saku sano
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300mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス(アクティブデバイスと集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)
2013
tomohiro kita
yuuiti akira taaruzi
kyou ki nara
syuu heiya
syuu hirosi toyama
miyosi kan
keizi kosino
nobuyuki yokoyama
mi ootuka
you sen sugiyama
eiiti isizuka
saku sano
tuyosi horikawa
hirohito yamada
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C-3-10 ArF液浸露光を用いた2次元フォトニック結晶スラブ導波路(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
2013
tuyosi horikawa
makoto okano
megumi zirou suzuki
syuu hirosi toyama
miyosi kan
saku sano
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C-3-57 SOI導波路プロセス(VI) : 液浸ArF露光を用いた導波路パターン形成(II)(シリコンフォトニクス,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
2012
tuyosi horikawa
miyosi kan
syuu hirosi toyama
keizi kosino
nobuyuki yokoyama
mi ootuka
you sen sugiyama
eiiti isizuka
masasi yamagisi
saku sano
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