Old Web
English
Sign In
Acemap
>
authorDetail
>
В. А. Кальнов
В. А. Кальнов
3
Papers
0
Citations
0
KQI
Citation Trend
Filter By
Interval:
1900~2024
1900
2024
Author
Papers (3)
Sort By
Default
Most Recent
Most Early
Most Citation
No data
Journal
Conference
Others
Новый сухой метод формирования маскирующего изображения (рельефа) непосредственно в процессе электронно-лучевого экспонирования резиста
2013
М. А. Брук
Е. Н. Жихарев
В. А. Кальнов
А. В. Спирин
Д. Р. Стрельцов
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
Измерение геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа методом дефокусировки электронного пучка
2013
Д. С. Бодунов
М. А. Данилова
В. А. Кальнов
А. Ю. Кузин
В. Б. Митюхляев
А. А. Орликовский
А В Раков
П. А. Тодуа
М. Н. Филиппов
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
ИЗМЕРЕНИЕ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОРЕЛЬЕФА С ПРОФИЛЕМ, БЛИЗКИХ К ПРЯМОУГОЛЬНОМУ, МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЭЛЕКТРОННОГО ЗОНДА РЭМ
2010
К А Валиев
В. П. Гавриленко
М. А. Данилова
Е. Н. Жихарев
В. А. Кальнов
Ю.В. Ларионов
В. Б. Митюхляев
А. А. Орликовский
А В Раков
П. А. Тодуа
М. Н. Филиппов
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
1