ИЗМЕРЕНИЕ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОРЕЛЬЕФА С ПРОФИЛЕМ, БЛИЗКИХ К ПРЯМОУГОЛЬНОМУ, МЕТОДОМ ДЕФОКУСИРОВКИ ЭЛЕКТРОННОГО ЗОНДА РЭМ

На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной. По кривым видеосигнала во вторичных медленных электронах определены зависимости контрольных отрезков Gp(Def) и Lp(Def), где Def – эффективный диаметр зонда РЭМ, которые оказались линейными для всех четырех исследованных одиночных выступов, причем с ростом Def величина Gp возрастает, а величина Lp – падает. Показано, что метод дефокусировки электронного зонда РЭМ позволяет определить линейный размер элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному, по экстраполяции этих линейных зависимостей к значению Def = 0. Установлено, что инвариантный контрольный отрезок, характеризующий линейный размер элемента рельефа, лежит на уровне (sl)средн = 0.80 ± 0.03 для элементов из кремния, имеющих разную ширину.