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okuyama ryousuke
okuyama ryousuke
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高感度CMOSイメージセンサ向けシリコンウェーハの製品設計-炭化水素分子イオン注入によるSiO 2 /Si界面準位の制御-
2020
okuyama ryousuke
masada ayumi
suzuki akihiro
kobayasi kouzi
sigematu satosi
hirose ryou
kadono takesi
koga yosiyasu
kurita kazunari
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炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(5)―X線光電子分光法による注入欠陥形成の解析―
2017
kadono takesi
okuyama ryousuke
masada ayumi
hirose ryou
sigematu satosi
koga yosiyasu
okuda hidehiko
kurita kazunari
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炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(1)―TCADによる注入層の軽元素捕獲・拡散挙動の理論解析―
2017
okuyama ryousuke
sigematu satosi
hirose ryou
masada ayumi
kadono takesi
koga yosiyasu
okuda hidehiko
kurita kazunari
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炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(4)―注入層における酸素が重金属のゲッタリング能力に与える影響(2)―
2017
masada ayumi
nakai tosirou
hirose ryou
sigematu satosi
kadono takesi
okuyama ryousuke
koga yosiyasu
okuda hidehiko
kurita kazunari
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炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(3)―注入層における注入欠陥の3次元アトムプローブによる解析―
2017
sigematu satosi
okuyama ryousuke
hirose ryou
masada ayumi
kadono takesi
koga yosiyasu
okuda hidehiko
kurita kazunari
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