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katuyuki matida

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レジオネラ属菌の識別に向けたフォトゲート型蛍光センサによる計測手法の検討 : Legionella erythraの蛍光計測への応用 (第12回集積化MEMSシンポジウム)

2020
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積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価 (第11回集積化MEMSシンポジウム)

2019
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3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討 (マイクロマシン・センサシステム研究会マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

2019
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フォトゲート型光センサによるレジオネラ属菌の菌種識別 (第11回集積化MEMSシンポジウム)

2019
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Structure Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloy Micro-Cantilever Evaluated By Long-Term Vibration Test for Applications As Movable Components in MEMS Devices

2018
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Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating

2017
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マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答 (第7回集積化MEMSシンポジウム)

2015
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A Study of a MEMS Energy Harvesting Device with a Circuit Simulator

2014
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Method for producing a multi-beam of the blanking aperture array apparatus, and a multi-beam blanking aperture array apparatus

2014
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回路シミュレータを用いたMEMSエネルギーハーベスティングデバイスの検討 (第6回集積化MEMSシンポジウム)

2014
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