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Shimogaki Yukihiro
Shimogaki Yukihiro
Materials science
Optoelectronics
Interconnection
Nanotechnology
Cladding (metalworking)
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ULSI‐Cu配線の信頼性向上に向けた極薄PVD‐Co(W)単層バリア/ライナーの特性評価
2017
Kim Taewoong
Momose Takeshi
Matsuo Akira
Seino Takuya
Shimogaki Yukihiro
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2つの超臨界流体に基づく堆積技術の結合によるナノ・インプリント・リソグラフィのためのNi型の製作
2015
Japanese Journal of Applied Physics
Momose Takeshi
Kawada Hiroto
Shimogaki Yukihiro
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Citations (5)
新しいRu-CVD/ALD原料を利用した次世代DRAMキャパシタ用電極形成プロセスの開発 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
2013
Kim Taewoong
Momose Takeshi
Shimogaki Yukihiro
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新しいRu‐CVD/ALD原料を利用した次世代DRAMキャパシタ用電極形成プロセスの開発
2013
Kim Taewoong
Momose Takeshi
Shimogaki Yukihiro
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サブバンド間デバイスのための,950°Cでのパルス注入法によるn-タイプGaN層の作製
2011
Electrochemical and Solid State Letters
Yang Jung-Seung
Sodabanlu Hassanet
Sugiyama Masakazu
Nakano Yoshiaki
Shimogaki Yukihiro
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Citations (1)
一定のAr流でCH 4 /H 2 /ArとO 2 のサイクル注入によりGaNの電子サイクロトロン共鳴の反応性イオンエッチングで改良されたエッチングされた表面形態
2005
Arakawa Taro
Awa Yoshiki
Ide Tomoyoshi
Haneji Nobuo
Tada Kunio
Sugiyama Masakazu
Shimizu Hiromasa
Shimogaki Yukihiro
Nakano Yoshiaki
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