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ULSI‐Cu配線の信頼性向上に向けた極薄PVD‐Co(W)単層バリア/ライナーの特性評価
ULSI‐Cu配線の信頼性向上に向けた極薄PVD‐Co(W)単層バリア/ライナーの特性評価
2017
Kim Taewoong
Momose Takeshi
Matsuo Akira
Seino Takuya
Shimogaki Yukihiro
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