ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法

さらにＥＵＶ透過性の高いペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクルを提供する。また、これらを以て高い精度のＥＵＶリソグラフィが可能な、露光原版、半導体装置の製造方法を提供する。支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートを含み、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向している、露光用ペリクル膜。