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Backside SIMS 및 AES Rotation Sputtering 기법 적용을 통한 Cu Barrier Metal 안정성 검증
Backside SIMS 및 AES Rotation Sputtering 기법 적용을 통한 Cu Barrier Metal 안정성 검증
2009
박상원
최민기
고중규
박윤백
김호정
Keywords:
Sputtering
Metallurgy
Metal
Materials science
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