ビニル系ナフタレン誘導体の応用プロセス、ビニル系ナフタレン誘導体の製造方法、ビニル系ナフタレン誘導体の重合体、反射防止膜形成組成物および反射防止膜

【課題】極めて優れた特性を有する反射防止膜への応用に到る技術的思想ないし技術的概念を創出したビニル系ナフタレンカルボン酸（誘導体）およびビニル系ナフタレンメタノールの応用プロセスを提供する。 【解決手段】下記式（１）または式（５）で表されるナフタレン誘導体を重合して得られる重合体を反射防止膜の主体成分として使用することからなる、当該ナフタレン誘導体の応用プロセス。 【化１】 【化５】 （各式中、Ｒ 1 、Ｒ 2 およびＲ 3 は相互に独立に水素原子または炭素数１〜１０の１価の有機基を示す。） 【選択図】 なし