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20306 ECMPの研磨圧力依存性シミュレーション(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(2),オーガナイズドセッション)
20306 ECMPの研磨圧力依存性シミュレーション(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(2),オーガナイズドセッション)
2010
mei fukuda
syou kodera
yasusi touma
saku suzuki
hirosi kuni hiyama
tosirou toi
syuuhei kurokawa
osamu oonisi
Keywords:
Nanoelectromechanical systems
Nanotechnology
Materials science
Chemical-mechanical planarization
Microelectromechanical systems
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