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二硫化モリブデンスパッタ膜の硫黄対モリブデン組成比に及ぼす基板への正電圧印加の影響 (特集 世界のトライボロジー)
二硫化モリブデンスパッタ膜の硫黄対モリブデン組成比に及ぼす基板への正電圧印加の影響 (特集 世界のトライボロジー)
2014
一成 松﨑
kiyonori koguma
gan sasaki
Keywords:
Molybdenum disulfide
Metallurgy
Materials science
crystal orientation
internal stress
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