Procédé et système pour le balayage adaptatif d'un échantillon durant une inspection par faisceau électronique

La presente invention concerne un systeme pour balayage par faisceau electronique qui peut comprendre un sous-systeme d'inspection concu pour balayer un faisceau electronique en travers de la surface d'un echantillon. Le sous-systeme d'inspection peut comprendre une source de faisceau electronique, un etage a echantillon, un jeu d'elements optiques electroniques, un ensemble detecteur et un dispositif de commande couple en communication a une ou plusieurs parties du sous-systeme d'inspection. Le dispositif de commande peut evaluer une ou plusieurs caracteristiques d'une ou de plusieurs parties d'une zone de l'echantillon et, en reponse a la ou aux caracteristiques evaluees, regler un ou plusieurs parametres de balayage du sous-systeme d'inspection.