被吸着体脱離方法、静電チャック、及びプラズマ処理装置

(57)【要約】 【課題】 静電チャックの電荷を中和コンデンサで中和 することにより、静電チャックに吸着された被吸着体を 速やかに脱離させる。 【解決手段】 サセプタ１５と同じ静電容量をもつ中和 コンデンサＣ2 を設ける。サセプタ１５への被処理基板 １４の吸着時、直流電源１６により静電チャック２２の 等価コンデンサＣ1 に充電するとともに、中和コンデン サＣ2 にも充電する。被処理基板１４の脱離時、直流電 源１６を切り離すとともに、中和コンデンサＣ2 を逆極 性にしてサセプタ１５に直列接続する。これにより直列 接続された両コンデンサＣ1 、Ｃ2 は両端をアースを介 してショートされて、サセプタ１５及び被処理基板１４ に蓄積した電荷が中和コンデンサＣ2 に蓄積した電荷で 急速に中和され、被処理基板１４は短時間で脱離する。