Dispositif d’imagerie dans une machine d’exposition par projection

Le dispositif d’imagerie selon l'invention dans une machine d’exposition par projection pour la microlithographie comprend au moins un element optique (10) et au moins un manipulateur, et un dispositif d'entrainement lineaire (9, 11) pour manipuler la position de l'element optique. Ledit dispositif d’entrainement lineaire (9, 11) comporte au moins un element mobile (43), ledit element mobile comportant une partie de cisaillement (42) et une partie de levage (40). Ladite partie de cisaillement (42) est disposee pour deplacer l’element optique (10) et ladite partie de levage (40) est disposee pour deplacer ladite partie de cisaillement (42). Ledit dispositif d’entrainement lineaire (9, 11) comporte un element de support qui est en contact avec l'element optique et empeche le mouvement de celui-ci lorsque la partie de cisaillement est deplacee par la partie de levage.