A versatile method to characterize the mechanical and optical properties of nano-and micro-structured CVD-Diamond : Brillouin microscopy

Compte tenu de l'evolution extremement rapide des progres dans le domaine des materiaux deposes par CVD, il est necessaire de proposer des methodes de caracterisation nouvelles et plus performantes adaptees a ce type de materiaux. Les proprietes optiques et mecaniques des couches deposees par CVD presentent un interet particulier pour des applications technologiques, surtout pour ce qui concerne les materiaux ultra durs comme le diamant CVD. Dans cet article, nous nous proposons de montrer le caractere universel et les hautes performances de la spectroscopie Brillouin pour l'etude des materiaux. De plus une nouvelle methode de diffusion (RIΘA) est presentee, elle permet de mesurer la distribution des contraintes residuelles intrinseques du diamant CVD, sans contact et de facon non destructive en utilisant la spectroscopie micro-Brillouin (μ-BS), La comparaison avec d'autres methodes comme l'AFM, la diffusion Raman et la microscopie optique permet d'obtenir un panorama complet des proprietes optiques et mecaniques du diamant CVD.