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RF-UBMS で作製したフルオロカーボン膜の 基板バイアス印加による密着性の改善
RF-UBMS で作製したフルオロカーボン膜の 基板バイアス印加による密着性の改善
2020
toya you bun
hariya tooru
tamekuni kou takasi
takikawa hirosi
kamiya masao
Keywords:
Materials science
Polytetrafluoroethylene
Thin film
Composite material
Fluorocarbon
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