Controle automatise de l'epaisseur metallique lors de depot de film

L'invention concerne un nouveau procede qui permet de controler l'epaisseur d'un film metallique lors du depot de film dans une chambre de depot. Ledit procede consiste a produire un faisceau de rayons X dirige sur le film metallique depose sur une plaquette dans une chambre de depot, et a detecter la fluorescence X du film metallique. On compare l'epaisseur determinee du film metallique sur la base de la fluorescence X detectee a une valeur preetablie pour poursuivre le depot dans le cas ou l'epaisseur determinee est inferieure a la valeur preetablie. On arrete le depot lorsque la valeur preetablie de l'epaisseur determinee est atteinte.