Mirror device, the mirror array, an optical switch, a manufacturing method and a manufacturing method of the mirror substrate of a mirror device

ミラー基板（１５１）に対して回動可能に支持されるミラー（１５３）と、前記ミラー基板と対向する電極基板（１０１）の上に形成された駆動電極（１０３−１〜４）と、前記ミラーと前記電極基板との間の空間内に配設された帯電防止構造（１０６）とを備える。 これにより、帯電防止構造に第２の電位を与えることによって、ミラーの下面の電位を確定することができ、ミラーのドリフトを抑制することができる。