シリコン酸化膜形成装置の洗浄方法、シリコン酸化膜の形成方法、及び、シリコン酸化膜形成装置

【課題】ＲＴのような低温下であっても、パーティクルの発生を抑制し、生産性を向上させることができるシリコン酸化膜形成装置の洗浄方法、シリコン酸化膜の形成方法、及び、シリコン酸化膜の形成装置を提供する。【解決手段】シリコン酸化膜形成装置の洗浄方法は、酸化工程と洗浄工程とを備えている。酸化工程では、反応室内に酸化ガスを供給して、装置内部に付着した付着物を酸化する。洗浄工程では、反応室内にクリーニングガスを供給して、酸化工程で酸化された付着物を除去してシリコン酸化膜形成装置の内部を洗浄する。【選択図】図４