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Acemap > Paper > H支援プラズマ化学蒸着により蒸着した炭素膜のH 2 /N 2 プラズマエッチング率

H支援プラズマ化学蒸着により蒸着した炭素膜のH 2 /N 2 プラズマエッチング率

2013 
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