MOLIBDENUM POLYCRYSTAL MIRRORS SURFACE SMOOTHING AT SPUTTERING WITH SIMULTANEOUS DEPOSITION

Представлены результаты исследования модификации поверхности поликристаллических молибденовых зеркал при распылении с одновременным осаждением материала зеркала. Экспериментально получено, что, когда скорость распыления равна скорости осаждения, происходит сглаживание рельефа. Компьютерное моделирование этого процесса показало, что для сглаживания поверхности скорости распыления и напыления не должны отличаться более чем в 2 раза.