Vorrichtung zur testbestrahlung von mit photoempfindlichen lacken beschichteten objekten

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Testbestrahlung von mit photoempfindlichen Lacken beschichteten Objekten mit einer EUV-Strahlungsquelle, einem optischen System zur Filterung der Strahlung der EUV-Strahlungsquelle, einer Kammer zur Aufnahme des Objektes sowie Mitteln zum Unterbrechen des Strahlengangs auf das Objekt. Auserdem betrifft die Erfindung ein Betriebsverfahren fur eine derartige Vorrichtung. Um unter Verwendung einer preiswerten Labor-Strahlungsquelle und ohne aufwandige optische Systeme eine zumindest teilweise gleichzeitige Belichtung mehrerer Bestrahlungsfelder mit unterschiedlicher Dosis in moglichst kurzer Zeit zu ermoglichen, wird eine Vorrichtung mit vereinfachtem und kompakten optischen System, verschliesbaren Blendenoffnungen vor dem zu bestrahlenden Objekt sowie mindestens einem im Strahlengang angeordneten Monitor-Detektor fur die Strahlungsdosismessung vorgeschlagen.