Surveillance d'une performance de classification de défaut variant dans le temps

L'invention porte sur des systemes et des procedes pour surveiller une performance de classification variant dans le temps. Un procede peut comprendre, mais sans y etre limite : la reception d'un ou plusieurs signaux indicatifs d'une ou plusieurs propriete d'un ou plusieurs echantillons provenant d'un ou plusieurs outils d'inspection par balayage ; la determination de populations d'un ou plusieurs types de defaut pour le ou les echantillons selon une application d'une ou plusieurs regles de classification au ou aux signaux recus a partir du ou des outils d'inspection par balayage ; la determination de populations du ou des types de defaut pour le ou les echantillons a l'aide d'un ou plusieurs outils d'inspection haute resolution ; et le calcul d'une ou plusieurs correlations entre des populations d'un ou plusieurs types de defaut pour le ou les echantillons determines a partir de l'application d'une ou plusieurs regles de classification appliquees a un ou plusieurs signaux recus a partir du ou des outils d'inspection par balayage, et des populations du ou des types de defaut pour le ou les echantillons determines a l'aide du ou des outils d'inspection haute resolution.