Review of Some Critical Aspects of Ge and GeOI Substrates

L. Clavelier a , C. Deguet a , C. Le Royer a , B. Vincent a , J.-F. Damlencourt a , J.-M. Hartmann a , O. Kermarrec b , T. Signamarcheix c , B. Depuydt d , A. Theuwis d , C. Quaeyhaegens d , N. Cherkashin e , Y. Morand b , P. Rivallin a , C. Tabone a , S. Lagrasta b , Y. Campidelli b , S. Descombes b , L. Sanchez a , T. Akastu c , A. Rigny c , D. Bensahel b , T. Billon a , N. Kernevez a and S. Deleonibus a