Cible cylindrique de pulvérisation et procédé pour sa fabrication
2009
L'invention propose une cible cylindrique de pulverisation en ceramique, configuree pour reduire de maniere significative la formation de fissures, d'eclats, de decharges anormales et de nodules. Une cavite est constituee d'un materiau de cible cylindrique en ceramique et d'un materiau cylindrique de base. La cavite est remplie d'un materiau de liaison par fusion. Le refroidissement commence d'un bord du cylindre jusqu'a l'autre bord dans la direction axiale. Davantage de materiau de liaison par fusion est place dans la cavite pendant le refroidissement. Ainsi, on fabrique une cible cylindrique de pulverisation en ceramique caracterisee en ce que la superficie totale des parties d'une radiographie par transparence dans laquelle on ne trouve pas de materiau de liaison est egale ou inferieure a 10 cm 2 pour 50 cm 2 de superficie de radiographie par transparence, la superficie maximale des parties dans laquelle le materiau de liaison n'est pas present etant egale ou inferieure a 9 cm 2 .
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