Composition de résine soluble dans l’eau etméthoede de formation de prototype comme-ci

2005 
Une composition de resine soluble dans l’eau pour utiliser dans une methode de formation de prototype qui implique une couche superficielle a un prototype de reserve forme par une composition de resine ArF de radiation sensible et l’expansion de la largeur du prototype de reserve comme pour obtenir ainsi une miniaturisation efficace de prototype de fosse et de trou, ou le degre de retrecissement dimensionnelle de prototype de reserve s'est accru au dela de l’etat anterieur de la technique et ou la dependance de prototype de reserve rude/dense sur un retrecissement dimensionnelle est reduite et une methode pour former un prototype a l’aide d'une composition de resine soluble dans l'eau. Il est prevu une composition de resine soluble dans l'eau pour etre utilisee dans la methode de formation de prototype ci dessus, applicable a l’irradiation laser excimere ArF, comprenant une resine soluble dans l’eau, un generateur capable de generer un acide lorsqu'il est chauffe, une surface, un reticulant et un solvant contenant de l’eau. Plus tard, il est prevu une methode de formation d’un prototype a l’aide de la composition de resine soluble dans l’eau.
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