Mandrin a capteurs piezo-electriques integres, destines a detecter une plaquette a semi-conducteur
1999
Selon l'invention, on a forme un ou plusieurs capteurs piezo-electriques (18, 19, 20) sur la surface de support (14) d'un mandrin (12) de plaquettes a semi-conducteur. Ces capteurs produisent une electricite piezo-electrique sur la plaquette a semi-conducteur (42) mandrinee sur le mandrin. L'electricite produite est detectee et il est procede a des determinations selon diverses combinaisons, afin de determiner la presence sur le mandrin d'une plaquette a semi-conducteur, le centrage correct de la plaquette sur le mandrin et la force de mandrinage de la plaquette sur le mandrin.
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