ガス電界電離イオン源，走査荷電粒子顕微鏡，光軸調整方法、及び試料観察方法

【課題】 本発明の目的は、ガス電界電離イオン源の安定性向上に関する。 【解決手段】 本発明は、ＧＦＩＳにおいて、引き出し電極の孔の孔径を少なくとも２種類の値に可変にすること、あるいは、該エミッタ先端から該引き出し電極までの距離を少なくとも２種類の値に可変とすることに関する。また、本発明は、ＧＦＩＳにおいて、固体窒素を利用して冷却することに関する。本発明によると、引き出し電極の孔に対する大角度放出イオンの通過と差動排気の観点からの孔の小径化が両立できる。また、冷却手段の機械振動が低減できる。その結果、高安定なＧＦＩＳとこれを搭載した走査荷電粒子顕微鏡を提供できる。 【選択図】図１