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TEMAHf,TEMAZrおよびオゾンを用いて原子層蒸着したHf 1-x Zr x O 2 の物理的,電気的性質
TEMAHf,TEMAZrおよびオゾンを用いて原子層蒸着したHf 1-x Zr x O 2 の物理的,電気的性質
2008
D. H. Triyoso
R. Gregory
M. Park
K Wang
S-I. Lee
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