Mise en forme d'échantillons de production préservant la re-normalisabilité

L'invention porte sur des procedes et sur des systemes pour generer des echantillons de defauts. Un procede consiste a identifier un ensemble de defauts detectes sur une plaquette ayant la plus grande diversite des valeurs d'au moins un attribut de defaut, et a generer differentes tuiles pour differents defauts dans l'ensemble. Les tuiles definissent une partie de toutes les valeurs dudit attribut de tous les defauts detectes sur la plaquette qui sont plus proches des valeurs dudit attribut de leurs defauts correspondants que les valeurs dudit attribut d'autres defauts. De plus, le procede consiste a separer les defauts sur la tranche en compartiments d'echantillons correspondant aux differentes tuiles sur la base de leurs valeurs dudit attribut, a selectionner aleatoirement un ou plusieurs defauts dans chaque compartiment d'echantillons parmi au moins deux des compartiments d'echantillons, et a creer un echantillon de defauts pour la plaquette qui comprend les defauts selectionnes aleatoirement.