Preparación De Aleaciones Inoxidables De Fe-Cr Por Pulvimetalurgia Y Estudio Del Sputtering En La Descarga Luminiscente Anormal

Aleaciones inoxidables Fe-Cr con concentraciones de cromo entre 13,9 y 28,4% en peso, fueron preparadas a traves del metodo de pulvimetalurgia. Se correlaciona el comportamiento de la variacion de densidad de las muestras con su contenido de cromo y con los parametros del proceso. Despues de sinterizadas, las muestras fueron sometidas al proceso de sputtering en una descarga luminiscente anormal de baja presion en atmosfera de 80% de Ar y 20% de H2 a 10 torr de presion y una temperatura de 900°C. Las medidas de la variacion de masa despues del proceso de sputtering fueron comparadas con simulaciones realizadas mediante el programa SRIM-2003.20. Stainless Fe-Cr alloys with chromium content between 13,9 and 28,4% in weigh, were prepared through powder metallurgy method. Process parameters and chromium content were correlated with density variation in samples. After sinterized, the samples were submitted to sputtering process in a low pressure abnormal glow discharge with 80% Ar and 20% H2 atmosphere. The glow pressure and sample temperature were 10 torr and 900°C respectively. After sputtering process, samples weight variations were compared with SRIM-2003.20 software simulations.