Dispositif de gravure humide à très grande vitesse

Cette invention concerne une technique avantageuse permettant la gravure reguliere d'un substrat. Plus particulierement, l'invention concerne un dispositif de gravure concu pour graver ledit substrat qui presente un premier cote et un second cote sur le premier cote, au moyen d'un fluide de gravure comprenant du fluorure d'hydrogene et de l'acide nitrique. Ledit dispositif comprend : un element de support qui retient le second cote d'un substrat; un mecanisme de rotation qui fait tourner le substrat en entrainant en rotation l'element de support; une premiere partie d'alimentation qui achemine le fluide de gravure comprenant du fluorure d'hydrogene et de l'acide nitrique vers une partie centrale du premier cote du substrat entraine en rotation par le mecanisme de rotation; et une seconde partie d'alimentation qui achemine une solution d'entretien vers une partie externe qui est a l'ecart de la partie centrale du premier cote du substrat entraine en rotation par le mecanisme de rotation. Ladite solution d'entretien comprend soit du fluorure d'hydrogene soit de l'acide nitrique.