Co バリア層を用いた高真空スパッタ法によるトレンチへの Cu 埋め込み;Co バリア層を用いた高真空スパッタ法によるトレンチへの Cu 埋め込み;Cu Filling of Deep-sub-^|^mu;m Trenches by High-Vacuum Sputtering Using Co Barrier Layer