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Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik
Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik
1999
Patrick Ziegler
J. Wengelink
Jürgen Mohr
Keywords:
LIGA
Polymer chemistry
Chemistry
Crystallography
Physics
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