Analyse de gaz par spectrochimie infrarouge et appareil utilise

Un procede et un appareil permettent de mesurer la concentration de tres faibles quantites d'impuretes dans un gaz etudie, par analyse spectroscopique infra-rouge utilisant un laser a semi-conducteur. Pour obtenir une analyse hautement sensible et precise, on introduit un gaz etudie dans une cellule d'echantillon (5), ou on fait le vide avec une pompe a vide. Un rayon infra-rouge, d'une longueur d'onde correspondant a une region ou apparait un pic d'absorption eleve du aux impuretes, est emis par un laser a semi-conducteur (1) et traverse cette cellule d'echantillon (8), ou seules sont enfermees les impuretes, pour mesurer un spectre d'absorption a valeurs differentielles. Les impuretes sont identifiees par comparaison du spectre du gaz etudie avec celui des seules impuretes et par determination de plusieurs pics d'absorption concernant ces impuretes, puis la quantite d'impuretes est determinee selon l'intensite d'absorption du pic le plus eleve. Quand des molecules d'impuretes gazeuses se regroupent dans le gaz etudie, une lumiere d'au moins 0,5 eV leur est appliquee pour les dissocier avant analyse du gaz. Cette invention sert notamment a analyser une tres petite quantite d'impuretes presentes dans un gaz de materiau semi-conducteur.