プロセスモニタ回路を備えた半導体装置、その試験方法、並びにその製造方法

(57)【要約】 【課題】 設計時に想定した値以上に素子特性がばらつ いたときでも、そのばらつきを適切に修復できるように して、プロセスばらつきに伴う素子の動作マージンが低 下するのを防止して設計の自由度を向上させ、さらに は、不良品の発生を抑えることができる半導体装置を提 供する。 【解決手段】 同一チップ１ａ上には、各々所要の機能 を果たす複数の回路ブロック２ａ〜２ｎに加えて、プロ セスばらつきをモニタしてその結果を示すモニタ信号Ｍ を出力するプロセスモニタ回路３ａが搭載される一方、 回路ブロック２ａ〜２ｎには、プロセスモニタ回路３ａ からのモニタ信号Ｍに基づいて当該回路ブロック２ａ〜 ２ｎを構成する所定の回路素子に対する入力信号のタイ ミングを調整するタイミング調整回路１６ａが設けられ ている。