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Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구
Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구
2013
이한찬
정덕형
문경일
이붕주
신백균
Keywords:
Spark plasma sintering
Sputtering
Metallurgy
Materials science
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