Protective coating resistant to reactive plasma treatment

本発明の実施形態は、耐プラズマ固体基板又は他の基板上の耐プラズマ保護コーティングとして有益な金属オキシフッ化物含有グレーズ又は金属フッ化物含有グレーズ、ガラスセラミックス、及びこれらの組み合わせの混合物に関する。 また、約１６００℃よりも高い融点をもつ基板（酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、石英、炭化珪素、窒化珪素など）の表面上に固体基板及びコーティングを含むそのような混合物を組み込む様々な構造を作る方法が説明される。