Nanoparticule à base de boues d'oxyde de cérium

L'invention concerne une boue de planarisation mecano-chimique comprenant un tensio-actif, et des particules abrasives ayant un diametre moyen entre 20 et 30 nm et une surface exterieure d'oxyde de cerium. Les particules abrasives sont formees a l'aide d'un procede de synthese hydrothermique. Les particules abrasives representent entre 0,1 et 3 % en poids de la boue.