NiO 스핀밸브 박막을 제작하고 이를 공기중에서 80 일간 자연산화시킨 후, 형성된 산화층에 의한 NiO 스핀밸브 박막의 자기저항 특성을 연구하였다. NiO(600 Å)/Ni_(81)Fe_(19)(50Å)/Co(7 Å)/Cu(20 Å)/Co(7 Å)/Ni_(81)Fe_(19)(70 Å)의 구조를 갖는 스핀밸브박막을 공기중에서 약 80일 간 자연산화시켰을 때, 자기저항비와 교환결합력(Hex)이 각각 4.9%와 110 Oe에서 7.3%와 170 Oe로 증가하였다. 이때, 스핀밸브박막의 비저항(ρ)값은 28μΩm에서 17μΩm로 감소하였지만 박막의 비저항값의 변화량(Δρ)는 크기변화가 거의 없는 것을 알 수 있었다. 그러므로, 자기저항비의 증가는 자연산화에 따른 비저항값의 감소에 기인한 것으로 생각되며, 저항의 감소는 specular 효과때문인 것으로 판단된다. 스핀밸브박막의 표면에 형성된 NiFe 산화층의 두께는 약 20 Å인 것으로 추정되며, Auger electron spectroscopy(AES)를 이용하여 분석하였다.
DC magnetron sputtering 방법에 의해 Corning glass 위에 기저층인 Fe와 Cu의 두께를 다르게 하면서 buffer/[Co(17Å)/Cu(tÅ)]_N의 형태로 다층박막을 제작하여 자기저항비의 비자성층 Cu 층 두께, 기저층 종류와 두께, 다층박막의 층 수 의존성을 조사하였다. 제작된 시료를 500℃ 까지의 열처리를 행한 후 열처리가 이 시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 영향을 조사하기 위하여 X-선 회절분석, 시료진동형자기계 (VSM) 분석, 자기저항 측정을 하였다. Fe 기저층의 두께가 50Å이고 Cu 두께가 24Å일때 극대 자기저항비 21%가 관찰되었다. 낮은 base 압력 중에서 막의 증착은 산화를 억제하여 자기저항비를 증가시켰다. 400℃ 까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 grain size를 갖게 하여 극대 자기저항비를 나타내는 Cu 두께를 갖는 시료들은 열처리 후 반강자성적으로 결합한 막의 부분이 증가함으로써 자기저항비가 증가하다가 500℃에서는 계면의 확산에 의해 감소하였다.
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