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プラズマCVD a‐SiN:H膜堆積におけるラジカルの実効付着係数
2004
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プラズマCVDによるa-SiGe:H薄膜堆積に関する巨視的解析 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
2001
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